全氟橡胶 FFPM

全氟橡胶FFPM全氟橡胶(Perfluoroelastomer)优点:· 最佳耐热特性· 优异的抗化学特性· 低Outgassing 特性· 优异之抗Plasma特性缺点:· 耐低温特性较差· 原料价格较高· 生产难度较高 适用于：· 全氟系列产品广泛地运用于半导体产业及信息相关产业所运用, 运用范围包含薄膜制程中之PVC, CVD及蚀刻制程及各种高真空密封制程。

2021-05-18 40